SJT 31156-1994 磁控管排气台完好要求和检查评定方法
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ID： |
B5B5B06B38FD4DB1BE0DB60FAB570112 |
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文件大小(MB)： |
0.21 |
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页数： |
2 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31156-94,磁控管排气台完好要求和检查评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了磁控管排气台的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于生产磁控管用排气台,本标准不适用于其它产品的排气台,2完好要求,2.1 主要性能,磁控管排气台的主要性能指标如下表所列,阳极电压: 〇.2000V； 电流: 0.500mA,一■ —?. 4恸(]n丒 r电+j Hrci ： 0~500V； 电流： 0.25mA,ー栅电压: 电流:,〇.ー]0mA,0-±100V；,〇.100mA,热丝电压:,0.50 V,电流:,0.1A,〇.15V 〇.5A,极限真空度: 5X10 5Pa,2.2操作系统:,各操作开关、按钮、启动灵活,定位可靠,标志齐全,2.3 传动系统:,设备运转平稳,无冲击,无振动,2.4 润滑系统:,升降机构润滑系统完好,管路齐全,油路畅通,2.5 电气系统:,2.5.1 电器性能良好,运行可靠,保护装置齐全、有效,2.5.2 线路完整,绝缘层无破裂,无漏电现象,2.5.3 各种仪表指示正确,无误、有效期内校验合格证,2.5.4 电炉烘箱电热丝固定,牢固可靠,2.5.5 各级电极夹头应有明显标记,线夹接头处应牢固无松动现象,2.5.6 调压器、继电器开关接头牢靠,动作触点接触良好,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,1,s.l/T 31156-94,下载,2.6 真空系统:,2 . 6.1机械泵、扩散泵、运行正常、可靠。机械泉完好要求参照SJ/T 31412-94W型真空兼完,好标准执行,2 .6.2真空管道,阀门应密封良好,不许有渗漏现象,2.7 安全防护:,2 . 7.1各安全防护装置齐全,可靠,2 .7.2接地可靠,标志明显,2.8 维护保养:,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3.I 检查方法,3.1.1 电压、电流用设备上的电压表和电流表进行检查,3.1.2 极限真空度可检查预抽机械泵、扩散泵lh后看真空度是否达到:5X10fPa,用电离真,空计检査,3.1.3 绝缘性能用兆欧表检査漏电,3.1.4 其余项目完好要求所列内容用主观法检査,3.2 评定方法:,3. 2.1主要项目有2. 1,2. 5,2. 6.2. 7项中所列各条,其余项目为次要项目,3.2.2 主要项目有一项不符合耍求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2.3 完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明：,本标准由电チェ业部经济运行与体制改革司提出,本标准由上海市仪表电讯エ业局组织起草,本标准主要起草人:庄正方,2……
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